中国科学院研制出新型锆钛酸铅光子集成工艺开发套件

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中国科学院研制成功新型锆钛酸铅光子集成工艺开发套件，有望突破光通信和光计算领域的技术瓶颈。该套件基于4英寸晶圆级锆钛酸铅薄膜材料，采用液相沉积和磁控溅射组合工艺，实现了低成本、大规模制备。

这项研究由中科院半导体所李明研究员和中科院大学杭州高等研究院邱枫研究员合作完成，实现了从材料生长到器件制造的全流程自主可控。研制出的锆钛酸铅薄膜材料可在氧化硅衬底上沉积生长大尺寸、高质量晶体薄膜，显著降低制造成本。

基于该材料制备的马赫-曾德尔电光调制器和微环调制器，分别实现了超过70GHz和50GHz的高频调制带宽，调制效率也优于传统硅和薄膜铌酸锂材料。首个公开发布的工艺开发套件（PDK）包含多模干涉器、光栅耦合器和交叉器等多种器件模型，未来还将进一步优化性能和完善库内容。

该成果已发表在《半导体学报》上，并得到国家自然科学基金委员会、科学技术部和浙江省的资助。它将为下一代光学材料平台和工艺技术的研发及产业化应用提供坚实基础，推动光通信和光计算等信息光子技术的发展。

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