森美协尔“定位机构、定位方法及晶圆检测装置”专利公布

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深圳森美协尔科技有限公司一项名为“定位机构、定位方法及晶圆检测装置”的专利技术已于2024年11月12日公开，申请公布号为CN119115844A。天眼查信息显示了该专利详情。

该专利设计了一种新型定位机构、定位方法和晶圆检测装置。该定位机构包含第一安装板、第二安装板和多个定位组件。第二安装板安装在第一安装板的一侧，并带有若干安装孔。每个定位组件包含一个定位销和一个定位导套。多个定位销以环绕第二安装板外周的方式间隔设置在第一安装板面向第二安装板的一侧，并与安装孔一一对应。定位导套可与第二安装板分离，套在定位销外侧并与之配合，从而实现第一安装板与第二安装板的精确对位。定位销的最大径向尺寸小于或等于定位导套的内径，而定位导套的外径又小于安装孔的径向尺寸。 此设计确保了定位机构的高精度和便捷安装。

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