上海微电子“减振装置及半导体设备”专利获授权

对于一个科技周边开发者来说，牢固扎实的基础是十分重要的，golang学习网就来带大家一点点的掌握基础知识点。今天本篇文章带大家了解《上海微电子“减振装置及半导体设备”专利获授权》，主要介绍了，希望对大家的知识积累有所帮助，快点收藏起来吧，否则需要时就找不到了！

上海微电子装备（集团）股份有限公司近日获得一项名为“减振装置及半导体设备”的实用新型专利授权，授权公告号为CN222122116U，公告日为2024年12月6日，申请日为2023年12月29日。

该专利技术属于半导体领域，设计了一种新型减振装置，并将其应用于半导体设备中。此装置包含至少三个空气弹簧组件和执行器组件。空气弹簧组件由垂向和水平空气弹簧构成，分别提供垂直和水平方向的支撑和减振；执行器组件则包含垂向和水平向直线电机，实现主动减振。 这种被动减振和主动减振的结合有效解决了半导体设备中振动敏感部件动态变化大、易受振动干扰的问题，以及传统减振元件仅能作用于特定窄频段振动且无法有效抑制低频振动的难题。

到这里，我们也就讲完了《上海微电子“减振装置及半导体设备”专利获授权》的内容了。个人认为，基础知识的学习和巩固，是为了更好的将其运用到项目中，欢迎关注golang学习网公众号，带你了解更多关于上海微电子的知识点！