北方华创“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”专利公布

大家好，今天本人给大家带来文章《北方华创“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”专利公布》，文中内容主要涉及到，如果你对科技周边方面的知识点感兴趣，那就请各位朋友继续看下去吧~希望能真正帮到你们，谢谢！

北京北方华创微电子装备有限公司近日公布一项名为“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”的专利（申请公布号：CN119132999A，申请公布日：2024年12月13日）。

该专利公开了一种新型晶圆位置检测装置及其在半导体设备中的应用。该装置巧妙地将第一、第二环形滑轨分别设置于半导体腔室的上下两侧，线性传感器发射端和接收端分别与滑轨滑动连接。 值得注意的是，发射端和接收端的晶圆正投影都与晶圆部分重叠。处理器控制驱动器，使发射端发射检测信号，接收端接收未被晶圆遮挡的信号，并根据接收到的信号精确确定晶圆圆心位置。 更重要的是，该检测信号能够穿透半导体腔室。这项创新有效解决了现有工艺中腔室密封困难和对冷却系统依赖的问题。

文中关于北方华创的知识介绍，希望对你的学习有所帮助！若是受益匪浅，那就动动鼠标收藏这篇《北方华创“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”专利公布》文章吧，也可关注golang学习网公众号了解相关技术文章。