华海清科“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”专利公布

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华海清科（北京）科技有限公司近日公布一项名为“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”的新专利（申请公布号：CN119133038A，申请公布日：2024年11月13日）。

该专利技术旨在改进晶圆干燥过程。其核心在于设计了一种新型晶圆干燥装置，该装置包含：卡盘、用于支撑晶圆的支撑件、驱动卡盘旋转的旋转机构以及环状布置的液体回收机构，用于收集晶圆旋转甩出的液体。 装置的卡盘上表面边缘还设有周向凹陷部，实现液体与卡盘表面的平滑过渡。 配套的晶圆干燥方法则利用该装置完成干燥过程。

通过优化液体排出路径，确保液滴快速进入回收机构，从而显著提升干燥效率和液体回收率。

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