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华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线正式启用

时间:2025-05-31 14:51:25 458浏览 收藏

安徽华鑫微纳集成电路有限公司于5月24日宣布,其8英寸MEMS晶圆全自动生产线首批产品成功实现串联生产。这是中国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线,标志着我国在这一领域的重大突破。该生产线专注于制造惯性传感器、压力传感器和光MEMS器件等,广泛应用于高端装备和汽车电子领域。项目建成后,预计每月可生产3万片晶圆,助力公司实现2025年1万片产能目标。

据蚌埠新视介报道,5月24日,安徽华鑫微纳集成电路有限公司宣布其8英寸晶圆生产线首批产品成功实现串联生产,这一里程碑事件标志着我国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌埠顺利投产。

华鑫微纳“8英寸MEMS晶圆全自动生产线”正式投产

据透露,华鑫微纳专注于MEMS晶圆的制造业务,能够加工的产品种类包括惯性传感器、压力传感器以及光MEMS器件等,广泛应用于高端装备、汽车电子等多个领域。该生产线不仅是中国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线,同时也是全国首条设备配置完善的压电MEMS量产线。项目完全建成后,预计每月可生产3万片晶圆,成为国内产能最高的MEMS晶圆生产线之一。

近期,华鑫微纳副总经理丁敬秀表示:“截至目前,公司已与50家客户建立合作关系,收到总计21万片的流片需求订单,签订了价值1.2亿元人民币的合作协议,另有超过3万片晶圆的订单正在协商中,这些都将为实现2025年的1万片产能目标提供有力支持。现阶段,串线生产的共有13款产品,其中已有6款产品完成了全流程工程批流片并进入调试生产阶段,计划于6月底前交付客户进行功能及可靠性测试。”

(校对/李梅)

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